Elipsometría espectroscópica

La elipsometría espectroscópica es una técnica óptica no destructiva que permite caracterizar las propiedades ópticas y estructurales de materiales y películas delgadas a partir del cambio que experimenta la polarización de la luz al interactuar con una superficie. Su elevada sensibilidad permite determinar parámetros como el espesor de películas delgadas, índices de refracción, coeficientes de extinción y propiedades ópticas, así como estudiar siste

mas multicapa y procesos de modificación superficial.

Nuestro equipo

La Universidad Distrital Francisco José de Caldas cuenta con un elipsómetro espectroscópico Smart SE de HORIBA, equipo de alta precisión destinado a la caracterización óptica de materiales, superficies y estructuras de películas delgadas. El sistema permite realizar mediciones espectroscópicas de elipsometría en un amplio rango de longitudes de onda y obtener los parámetros elipsométricos Ψ (Psi) y Δ (Delta), a partir de los cuales es posible construir modelos ópticos y determinar las propiedades de las muestras.

Entre sus principales prestaciones se encuentran la caracterización de películas delgadas y sistemas multicapa, la determinación de espesores nanométricos, la obtención de constantes ópticas y el análisis de materiales semiconductores, dieléctricos, metales, óxidos y otros materiales de interés científico y tecnológico. La técnica resulta especialmente útil en investigación en ciencia de materiales, óptica, fotónica, nanotecnología, plasmonica y desarrollo de dispositivos.

En esta página se encuentra disponible el software especializado DeltaPsi2 para el análisis y modelamiento de los datos obtenidos mediante elipsometría espectroscópica, junto con los recursos necesarios para su procesamiento e interpretación. El software permite ajustar modelos ópticos a los datos experimentales y extraer los parámetros físicos de interés.

Solicitud de servicios

El equipo se encuentra disponible para actividades de investigación, caracterización de materiales y prestación de servicios especializados. Para solicitar mediciones o conocer las condiciones, procedimientos y posibilidades de caracterización, los interesados pueden ponerse en contacto con el Laboratorio de Física de la Universidad Distrital Francisco José de Caldas o directamente con el Prof. César Aurelio Herreño Fierro.

La disponibilidad del equipo, las características de las muestras y el tipo de análisis requerido se evaluarán previamente para establecer las condiciones más adecuadas de medición y procesamiento de los datos.

Análisis de Datos

DeltaPsi2

DeltaPsi2 es el software de licencia privada del fabricante para el análisis de datos. Aquí puede descargar el paquete de instalación del Software. Sin embargo, la ejecución de programa exige contar con la llave física de activación. El laboratorio cuenta con una llave disponible para préstamo solamente en las instalaciones del Laboratorio. El paquete de instalación trae documentación sobre el software. Para mayores detalles sobre el Software y manuales detallados de ejecución de los análisis de datos (Play Books), consulte la referencia [1].

ELLIPSA

Ellipsa es el software de licencia libre y abierta en fase de prueba para el análisis de datos. Se ejecuta en línea, por lo que no requiere de la instalación de programas. Para mayores detalles y acceder al manual de usuario de Ellipsa, consulte la referencia [2].

Referencias

[1] M.A. Pinto-Gutierrez, “Critical analysis of the multiparametric fitting modes and algorithms of the deltapsi2® software (Horiba, Ltd.) for Spectroscopic Ellipsometry“, Repositorio Universidad Distrital Francisco José de Caldas (2026).

[2] P.A. Leuizamón-Suárez, “Development of an Online Computational Tool for the Analysis and Optimization of Spectroscopic Ellipsometry Data“, Repositorio de la Universidad Distrital Francisco José de Caldas (2026).